La miniaturisation et la microintégration rehaussent grandement le rendement et la fiabilité des microsystèmes et des détecteurs et en réduisent les coûts. Cependant, les technologies actuelles de mise en place des microdétecteurs sont utilisées dans une large gamme de plateformes. On voit donc souvent des microdétecteurs – qui mesurent différents paramètres – placés sur différentes combinaisons de substrats, en plus des composants électroniques de conditionnement, traitement et communication des signaux.