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Caractérisation d’une torche plasma à la pression atmosphérique pour le dépôt de couches minces
Ce projet porte sur la caractérisation d’une torche plasma à arc soufflé à la pression atmosphérique pour le dépôt de couches minces organosiliciées. La caractérisation se concentre principalement sur l’interaction précurseur plasma et et son impact sur la physicochimie des couches déposées. La principale méthode de caractérisation du plasma sera faite à l’aide de l’utilisation d’un analyseur hyper-spectrale permettant une acquisition spatiales des propriétés optiques de la décharge. Des mesures de caractérisations seront également effectuées en parallèles.
Faculty Supervisor:
Luc Stafford
Student:
Partner:
Université de Toulouse
Discipline:
Physics
Sector:
Education
University:
Université de Montréal
Program:
Globalink Research Award
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