Développement d’une librairie de structures de contrôle de procédés

L’intégration de dispositifs et systèmes micro-électro-mécaniques nécessitent un contrôle très précis des étapes de microfabrication et des matériaux microélectroniques qui sont utilisés dans ce processus. Chaque étape de procédé doit être validé avec des structures tests aussi appelées PCM (“Process Control Monitoring”). Ces PCMs permettent, entre autres choses, de valider les épaisseurs et propriétés mécaniques et physiques des films minces déposés, ainsi que de valider les dimensions et accomplissement des étapes de microfabrication comme la gravure, la lithographie ou le collage.
Le but de ce projet est de mettre en place une librairie de structures tests de type PCMs au C2MI pour contrôler les étapes de microfabrication et l’intégration complète des dispositifs ainsi que de faire un suivi des équipements et procédés. Cette librairie comprendra la conception des PCMs, une base de dessin de structures avec des guides, ainsi que les protocoles de caractérisation.

Faculty Supervisor:

Serge Ecoffey

Student:

Partner:

Centre de Collaboration MiQro Innovation (Bromont, QC)

Discipline:

Engineering

Sector:

Manufacturing; Professional, scientific and technical services

University:

Université de Sherbrooke

Program: