L’intégration de dispositifs et systèmes micro-électro-mécaniques nécessitent un contrôle très précis des étapes de microfabrication et des matériaux microélectroniques qui sont utilisés dans ce processus. Chaque étape de procédé doit être validé avec des structures tests aussi appelées PCM (“Process Control Monitoring”). Ces PCMs permettent, entre autres choses, de valider les épaisseurs et propriétés mécaniques […]
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