Dans le cadre d’un projet de recherche, des micro-commutateurs MEMS ont été fabriqués sur une ligne de prototypage industrielle 200 mm. Ces dispositifs millimétriques sont compacts et consomment très peu d’énergie, ce qui les rend particulièrement intéressants pour des environnements cryogéniques nécessitant une dissipation de chaleur minimale. Ce projet vise à évaluer les performance et […]
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